SPACETRON 8 DUAL
该产品采用直驱电机结构，内部结构没有齿轮、皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。可以根据用户要求，搭载不同形式的手指结构，满足单工艺腔及双工艺腔同时取放晶圆的需求，大大提高了晶圆传片效率，广泛应用于PECVD、PVD、ETCH、MEMS等设备。高速I/O模块，实现用户端与控制器端信号的灵活配置，让用户在设计使用上更加高效便捷。高重复定位精度，并具备AWC自动纠偏功能，保证传片精度。具有耐真空性，可胜任高真空环境下晶圆传片需求。
分类：
