SPACETRON 7 SCARA

该产品采用直驱电机结构，无齿轮传动，使机械手具有更高的稳定性及可靠性，可拖拽示教更大限度提高了用户体验及安全性，被广泛应用于PECVD、PVD、ETCH等设备，具有极其安全的碰撞保护系统，以及AWC纠偏功能，最大限度的保护晶圆，有效提升设备工艺的稳定性。该系列产品的软硬件都具有较高的兼容性，兼容各类芯片制造机台，手臂长度可选，为用户提供100mm到300mm尺寸晶圆的搬运解决方案。

分类：

SPACETRON 7