3节手臂SMIF
适用于8时Wafer的POD盒，双工位设计；POD盒在位检测，自动解锁、上锁，配有Smart Tag/Rfid功能、Mapping功能、Wafer Protrude检测，3pin定位，方便快速安装更换，成熟的伺服控制技术，运行平稳可靠，可选配转接盒，适用于6时Wafer。
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适用于8时Wafer的POD盒，双工位设计；POD盒在位检测，自动解锁、上锁，配有Smart Tag/Rfid功能、Mapping功能、Wafer Protrude检测，3pin定位，方便快速安装更换，成熟的伺服控制技术，运行平稳可靠，可选配转接盒，适用于6时Wafer。
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