SPACETRON 6大气机械手臂
该系列产品为用户提供高效安全的夹具解决方案，可搬运50mm到300mm的硅片、碳化硅片、TAIKO片、蓝膜片等，单臂双臂可选的大气结构机械手，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点，个性化定制的手臂尺寸，迎合各类机台，被广泛应用于ETCH、PVD、PECVD、MOCVD、CMP、COATING、CLEAN、DETECT、TRACK等半导体设备。灵敏、高效、准确的Mapping功能是该系列机械手的核心功能之一，为进出料提供准确的Wafer数据。
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