六边形真空传输平台

TM系统是半导体制造生产线的必要设备，它一般包含在整套半导体制造设备系统之中，是硅片盒(Cassette)到工艺腔(CVD,ALD,PVD等)之间的硅片搬送系统。TM系统一般由传输腔(TM)、缓存腔(BUFFER)、装载腔(Loadlock)、真空机械手(Vacuum Robot)、真空阀门及配套辅助设备等组成，还可以根据需求配置VCE、Aligner、EFEM及Load Port或SMIF等。

分类：

SPACETRON TM